据报道，近来，台积电副一起营运长张晓强在揭露论坛清晰表态，公司现阶段不会收购阿斯麦最新High?NA EUV光刻机，中心原因是设备价格过高。

  该机型单台价格超3.5亿欧元，折合人民币近28亿元，远超职业现有设备水平。

  张晓强直言新一代设备“十分十分贵”，并表明现有EUV设备仍能充沛的发挥价值，满意当时出产与研制需求。

  这款光刻机是支撑1.4nm及以下先进制程的中心配备，分辨率与制程才能明显优于上一代，但本钱也同步大幅攀升。

  其价格挨近一般EUV设备的1.8倍，超高定价源于独家光学组件、杂乱光源体系与绵长调试周期，加之全球仅阿斯麦能供给，进一步推高了终端价格。

  公司正经过工艺优化下降对新设备的依靠，近期发布A13与N2U两项新工艺，别离方案2029年与2028年投产，在不依靠新一代光刻机的情况下提高芯片能效、缩小面积，统筹本钱与功能。

  阿斯麦本来方案2027—2028年大规模量产High?NA EUV，并设定2030年营收方针，现在面对客户张望的应战。

  当时台积电本钱开支压力较大，资金优先投向了3nm扩产、2nm研制与产能布局。